超短波波长为10－1米，频率为30－300兆赫。国产治疗机波长有6米、7.2米、7.34米、7.7米等几种，频率为50兆赫左右。
由于超短波波长短，频率高，超短波电流很容易通过电介质，故治疗时电极不直接接触皮肤。
超短波之电流曲线一般为连续式，电流振荡是连续的；另一种为脉冲式超短波电流，是在连续超短波电流基础上加以低频脉冲调制和放大，形成一种间断的一般为矩形的超短波电流（图5.4.1）。其脉冲频率通常为100－1000赫，持续时间为1－100微秒，间断时间为1－10秒，脉冲最大功率为1－20千瓦，即相当于普通连续式超短波电流的数十倍。连续式超短波所产生的热能要比脉冲式的大得多。许多学者认为脉冲式超短波对人体的作用主要基于脉冲群的振荡效应。治疗时一般无热感。
图5.4.1 连续式（a)和脉冲式（b)超短波
此外，近年来还有大功率（输出功率1000瓦以上）超短波治癌机出现，用以治疗恶性肿瘤。
